يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچ دېگەن نېمە؟

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش زامانىۋى تېخنىكىنى كۈچلەندۈرىدۇ ، ئۇ ئېتىش ، چۆكۈش ۋە فوتوگرافىيە قاتارلىق ئېنىق جەريانلارغا تايىنىدۇ.

بۇ جەريانلار ئازوت ۋە ھىدروگېنغا ئوخشاش دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ گازنى تەلەپ قىلىدۇ ، مەھسۇلاتنىڭ سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن چوقۇم بۇلغانمىلاردىن خالىي بولۇشى كېرەك.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچنەملىك ، ھىدرو كاربون ۋە زەررىچىلەر قاتارلىق بۇلغانمىلارنى چىقىرىپ تاشلاپ ، ساپلىقىغا كاپالەتلىك قىلىشتا ھەل قىلغۇچ رول ئوينايدۇ

ئۈنۈملۈك ۋە ئىشەنچلىك ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن كېرەك.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچ دېگەن نېمە؟

A يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچزەررىچە ، نەملىك ۋە ھىدرو كاربون قاتارلىق بۇلغىمىلارنى چىقىرىپ تاشلاش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن مەخسۇس سۈزۈش ئۈسكۈنىسى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ئىشلىتىلىدىغان گازلار. بۇ سۈزگۈچلەر قىچىشىش ، چۆكۈش ۋە تاش مەتبەئە قاتارلىق جەريانلارغا ئېھتىياجلىق دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ ،

ھەتتا مىكروسكوپتىكى بۇلغانمىلارمۇ مەھسۇلات سۈپىتىگە زىيان يەتكۈزىدۇ.

بۇ سۈزگۈچلەر ئادەتتە ئىلغار ماتېرىياللاردىن ياسالغانداتلاشماس پولات, PTFE (polytetrafluoroethylene), andساپال بۇيۇملار, which

ئەلا سۈپەتلىك خىمىيىلىك سىستېما بىلەن چىدامچانلىقى ، چىدامچانلىقى ۋە ماسلىشىشچانلىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇلغىنىشسىز گاز ئېقىمىنى ساقلاش ئارقىلىق ،

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچ زامانىۋى مىكرو ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىشتا كەم بولسا بولمايدىغان ئېنىقلىق ۋە ئىشەنچلىكلىكنى قولغا كەلتۈرۈشتە ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچ نېمە ئۈچۈن مۇھىم؟

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى بۇلغانمىلارغا ئاجايىپ سەزگۈر.

ھەتتا مىكروسكوپتىكى بۇلغانمىلارمۇ ۋافېردا كەمتۈكلۈك پەيدا قىلىپ ، كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇمەھسۇلات مىقدارى تۆۋەنلىدى.

ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارىغا تەسىر يەتكۈزۈپ ، ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى ئاشۇردى.

كۆپ ئۇچرايدىغان بۇلغىمىلارئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

* Particles:

چاڭ-توزان ، مېتال قىرقىش ياكى باشقا قاتتىق ئەخلەتلەر.

* نەملىك:

ۋافېرنى تۆۋەنلىتىدىغان خىمىيىلىك رېئاكسىيەلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

* ھىدروكاربون:

كېرەكسىز قالدۇقلارنى تونۇشتۇرۇش ياكى خىمىيىلىك جەريانلارغا ئارىلىشىش.

ئېزىش ياكى چۆكۈش قاتارلىق ھالقىلىق جەريانلاردىكى پاسكىنا گازلار تەكشى بولمىغان قەۋەت ، توك يولىنىڭ كەمتۈكلىكىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

ۋە ئۆزەكلەرنى رەت قىلدى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچ

گازنىڭ ساپلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ، ۋافېر سۈپىتىنى قوغداش ۋە ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنىڭ ئۈنۈمىنى ساقلاشتا ئىنتايىن مۇھىم.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچنىڭ تۈرلىرى

1. بۆلەك سۈزگۈچ

* توپا ۋە ئەخلەت قاتارلىق قاتتىق زەررىچىلەرنى گاز ئېقىمىدىن چىقىرىۋېتىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.

* ئالاھىدە دەرىجىدىن تاشقىرى ئىنچىكە تۆشۈكچىلەرنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى (مەسىلەن ، مىكرو مىكرو) گازنىڭ ئېقىشىنى چەكلىمەي تۇرۇپ بۇلغانمىلارنى تۇتۇش.

* ئادەتتە چىداملىق ۋە خىمىيىلىك قارشىلىق ئۈچۈن ياسالغان داتلاشماس پولات قاتارلىق ماتېرىياللاردىن ياسالغان.

2. مولېكۇلا بۇلغىغۇچى سۈزگۈچ

* نەملىك ۋە ھىدرو كاربون قاتارلىق مولېكۇلا دەرىجىلىك بۇلغانمىلارنى چىقىرىپ تاشلاش ئۈچۈن ئالاھىدە ياسالغان.

* ھەمىشە PTFE ياكى ئاكتىپ كاربونغا ئوخشاش ئىلغار ماتېرىياللارنى ئىشلىتىپ خىمىيىلىك ياكى جىسمانى جەھەتتىن بۇلغىمىلارنى توسىدۇ.

* نەملىك ياكى ئورگانىك قالدۇقلارغا سەزگۈر جەريانلاردا دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىقنى ساقلاشتا ئىنتايىن مۇھىم.

3. بىرلەشتۈرۈلگەن سۈزگۈچ

* كۆپ قاتلاملىق سۈزگۈچ بىلەن تەمىنلەپ ، زەررىچىلەر ۋە مولېكۇلا بۇلغىنىشلىرىنى بىرلا ۋاقىتتا ھەل قىلىڭ.

* كۆپ خىل نىجاسەت ئارخىپى بار تەبىئىي گاز ئېقىمىغا ماس كېلىدۇ.

* زەررىچە سۈزۈش ۋە خىمىيىلىك ئېلېمېنتلار ئۈچۈن ياسالغان ماتېرىيال قاتارلىق تېخنىكىلارنى بىرلەشتۈرۈڭ

مولېكۇلا بۇلغىنىشىنى يوقىتىش ئۈچۈن.

سۈزگۈچ لايىھىلەش ۋە تېخنىكىلارنى سېلىشتۇرۇش

*سىنتلانغان مېتال سۈزگۈچ:

يۇقىرى بېسىملىق سىستېمىلاردىكى زەررىچىلەرنى يوقىتىشتا چىداملىق ۋە ئۈنۈملۈك.

* Membrane ئاساسىدىكى سۈزگۈچ:

ئېسىل مولېكۇلا سۈزۈش بىلەن تەمىنلەڭ ، ئەمما تۆۋەن بېسىمنى تەلەپ قىلىشى مۇمكىن.

* ئارىلاشما سۈزگۈچ:

ئىخچام لايىھىلەشتە سۈزگۈچ ۋە پەردە تېخنىكىسىنى بىرلەشتۈرۈڭ.

سۈزگۈچنى تاللاش كونكرېت گاز ، مەشغۇلات شارائىتى ۋە بۇلغىنىش خەۋپىگە باغلىق

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچنىڭ ئاساسلىق ئالاھىدىلىكى

1. سۈزۈش ئۈنۈمى

* كىچىك مىكرو مىقدارلىق سۈزۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، ئەڭ كىچىك زەررىچىلەر ۋە مولېكۇلا بۇلغانمىلارنىمۇ چىقىرىپ تاشلايدۇ.

* سەزگۈر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا ئىنتايىن يۇقىرى دەرىجىدىكى ساپ گازلارغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

2. يۇقىرى ئىسسىقلىق ۋە خىمىيىلىك قارشىلىق

* دەرىجىدىن تاشقىرى تېمپېراتۇرىغا بەرداشلىق بېرىش ئۈچۈن ، داتلاشماس پولات ۋە PTFE قاتارلىق ماتېرىياللاردىن ياسالغان

ۋە چىرىتكۈچى گازلار.

* ئاكتىپ ياكى يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇھىتىغا چېتىلىدىغان كۆپ خىل قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماس كېلىدۇ.

3. چىدامچانلىقى ۋە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش

* ئەڭ تۆۋەن چېكىنىش بىلەن ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىتىشكە ئىنژېنېر بولۇپ ، ئالماشتۇرۇش ۋە چۈشۈش قېتىم سانىنى ئازايتىدۇ.

* ماتېرىياللار ئۇپراشقا قارشى تۇرىدۇ ، ئۇزۇن مۇددەت ئىقتىدارنى ساقلايدۇ.

4. دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپ گاز سىستېمىسى بىلەن ماسلىشىشچانلىقى

* بۇلغانمىلارنى كىرگۈزمەي تۇرۇپلا يۇقىرى ساپلىق تۇرۇبا يولىغا بىر گەۋدىلەشتۈرۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.

* ساپلىقنىڭ كەسىپ ئۆلچىمىگە يېتىشى ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ئىزچىل ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىش.

بۇ ئىقتىدارلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچنى ئۈنۈم ، ئىشەنچلىك ۋە

ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدىكى سۈپەت.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچنىڭ قوللىنىلىشى

1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرى

* Etching:

سۈزگۈچ ئۇلترا ساپ گازلارغا كاپالەتلىك قىلىپ ، ۋافېرغا چاپلانغان نەقىشلەرنىڭ كەمتۈكلىكىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

* Deposition:

خىمىيىلىك ۋە فىزىكىلىق بىردەك نېپىز پەردە ھاسىل قىلىش ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز تەلەپ قىلىنىدۇ

ھور چۆكۈش (CVD ۋە PVD) جەريانلىرى.

Lithography:

گاز سۈزگۈچلەر بۇلغانمىلارنى چىقىرىپ تاشلاش ئارقىلىق فوتوگرافلىق جەرياننىڭ ئېنىقلىقىنى ساقلايدۇ

بۇ ئارىلىشىشى مۇمكىنيېنىك تەسىر ياكى خىمىيىلىك رېئاكسىيە بىلەن.

2. سۈزۈشنى تەلەپ قىلىدىغان گازلار

ئازوت (N₂):

تازىلاش ۋە توشۇغۇچى گاز سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، بۇلغىنىشتىن ساقلىنىش ئۈچۈن مۇتلەق ساپلىقنى تەلەپ قىلىدۇ.

* Argon (Ar):

پلازما جەريانى ۋە چۆكۈشتە موھىم ، بۇ يەردىكى مەينەت ماددىلار مۇقىملىقنى بۇزىدۇ.

ئوكسىگېن (O₂):

ئوكسىدلىنىش ۋە تازىلاش جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ ، بۇلغىنىشسىز تەمىنلەشكە ئېھتىياجلىق.

ھىدروگېن (H₂):

تۆۋەن دەرىجىدىكى نىجاسەتكە بەرداشلىق بېرىش ۋە چۆكۈش مۇھىتىنى ئازايتىشتا ئىنتايىن مۇھىمrance.

3. يېرىم ئۆتكۈزگۈچتىن ھالقىغان كەسىپلەر

* دورىگەرلىك:

سەزگۈر مەھسۇلاتلارنى ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئوراپ قاچىلاش ئۈچۈن دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ گاز.

Aerospace:

ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش جەريانى پاكىز گاز مۇھىتىغا تايىنىدۇ.

* يېمەكلىك ۋە ئىچىملىك:

سۈزگۈچ ئوراپ قاچىلاش ۋە بىر تەرەپ قىلىشتا بۇلغىنىشسىز گازلارغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچ ھەر ئىككىسىنىڭ ئېنىقلىقى ، ئۈنۈمى ۋە سۈپىتىنى ئاشۇرۇشتا ئىنتايىن مۇھىم

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشۋە باشقا يۇقىرى ساپلىقتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار.

توغرا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچنى قانداق تاللاش كېرەك

1. ئويلىنىشقا تېگىشلىك ئامىللار

* گاز تىپى: ئوخشىمىغان گازلارنىڭ بۇلغىنىش خەۋىپى ئوخشىمايدۇ (مەسىلەن ، ئازوتنىڭ نەملىكى ، ھىدروگېننىڭ ھىدرو كاربون). كونكرېت گازغا ماس كېلىدىغان سۈزگۈچنى تاللاڭ.

* ئېقىش نىسبىتى: سۈزگۈچنىڭ ئۈنۈمگە تەسىر يەتكۈزمەي ياكى بېسىم تۆۋەنلىمەي تۇرۇپ كېرەكلىك گاز ئېقىمىنى بىر تەرەپ قىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىڭ.

* مەشغۇلات بېسىمى: سىستېمىڭىزنىڭ بېسىم دائىرىسى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن سۈزگۈچنى تاللاڭ ، بولۇپمۇ يۇقىرى بېسىملىق مۇھىتتا.

* ماسلىشىشچانلىقى: سۈزگۈچ ماتېرىياللىرىنىڭ خىمىيىلىك ھالدا گاز ۋە باشقا سىستېما زاپچاسلىرىغا ماس كېلىدىغانلىقىنى تەكشۈرۈپ بېقىڭ.

2. تۆشۈكچىلەرنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ۋە ماتېرىيال تاللاشنىڭ ئەھمىيىتى

* Pore Size: لازىملىق ئۈنۈمدىكى بۇلغىمىلارنى چىقىرىۋېتىشكە ماس كېلىدىغان تۆشۈك چوڭلۇقىدىكى سۈزگۈچنى تاللاڭ (مەسىلەن ، ھالقىلىق قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ مىكرو مىكرو سەۋىيىسى).

* ماتېرىيال: چىداملىق ماتېرىياللارنى تاللاڭداتلاشماس پولاتمولېكۇلا بۇلغىنىش ئۈچۈن زەررىچىلەر ياكى PTFE ، چىرىش ، ئىسسىقلىق ۋە بېسىمغا قارشى تۇرۇشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

3. ئاسراش ۋە ئالماشتۇرۇشنىڭ ئۇسۇللىرى

* سۈزگۈچنى توسۇش ، تاقاش ياكى ئىقتىدارنى تۆۋەنلىتىش ئۈچۈن قەرەللىك تەكشۈرۈڭ.

* سۈزگۈچلەرنى تازىلاش ياكى ئالماشتۇرۇشنىڭ ئىشلەپچىقارغۇچىلارنىڭ كۆرسەتمىلىرىگە ئەمەل قىلىپ ، بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

* نازارەت قىلىش قوراللىرىنى ئىشلىتىڭ ، سۈزگۈچ ئۈنۈمىنى ئىز قوغلاڭ ۋە ئالماشتۇرۇشنىڭ قاچان لازىملىقىنى ئېنىقلاڭ.

بۇ ئامىللارنى ئىنچىكىلىك بىلەن باھالاپ ، سۈزگۈچنى مۇۋاپىق ساقلاپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ ئەڭ ياخشى گاز ساپلىقى ۋە سىستېما ئىقتىدارىغا كاپالەتلىك قىلالايسىز.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچ تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىياتى

1. ماتېرىيال ئىلمىدىكى يېڭىلىقلار

* Nano-Particle Filtration: مولېكۇلا ياكى ئاتوم سەۋىيىسىدىكى بۇلغىمىلارنى تۇتالايدىغان ئىلغار ماتېرىياللارنى تەرەققىي قىلدۇرۇش.

بۇ دەرىجىدىن تاشقىرى سەزگۈر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياننىڭ تېخىمۇ يۇقىرى دەرىجىدىكى گاز ساپلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

* ئارىلاش ماتورلۇق ماتېرىياللار: سۈزۈلگەن مېتاللارنى ئىلغار پولىمېر بىلەن بىرلەشتۈرۈپ ، چىداملىق ھەم سۈزگۈچ ھاسىل قىلىدۇ

كۆپ خىل بۇلغىمىلارنى يوقىتىشتا ناھايىتى ئۈنۈملۈك.

2. ئەقلىي ئىقتىدارلىق سۈزۈش سىستېمىسى

* ئىچىگە نازارەت قىلىش ئىقتىدارى:

سۈزگۈچنىڭ ئىقتىدارى ، بېسىم تۆۋەنلەش ۋە بۇلغىنىش دەرىجىسىنى ئىز قوغلايدىغان سېنزورلارنىڭ بىرىكىشى.

* ئالدىن پەرەز قىلىش:

سۈزگۈچ تازىلاش ياكى ئالماشتۇرۇشقا ئېھتىياجلىق بولغاندا ، ئەقلىي ئىقتىدارلىق سىستېمىلار تىجارەتچىلەرگە ئۇقتۇرۇش قىلىدۇ ، چۈشۈش ۋاقتىنى قىسقارتىدۇ ۋە ئاسراش ۋاقتىنى ئەلالاشتۇرىدۇ.

3. سىجىل ۋە ئېنېرگىيە تېجەيدىغان لايىھىلەش

* ئېكولوگىيىلىك دوستانە ماتېرىياللار:

ئەخلەتلەرنى ئازايتىش ئۈچۈن يىغىۋېلىشقا بولىدىغان ياكى مۇھىت ئاسرايدىغان زاپچاسلار بىلەن ياسالغان سۈزگۈچ.

* ئېنېرگىيە ئۈنۈمى:

بېسىم تۆۋەنلەش ۋە ئېنېرگىيە سەرپىياتىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش لايىھىسى ، سۈزۈش سۈپىتىگە تەسىر يەتكۈزمەي سىستېما ئۈنۈمىنى ئۆستۈرىدۇ.

بۇ ئىلگىرلەشلەر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچنىڭ ئىقتىدارىنى ئۆستۈرۈپلا قالماي ، يەنە تەننەرخ ئۈنۈمى ۋە

مۇھىتنىڭ سىجىللىقى ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ كۈنسېرى ئېشىۋاتقان ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش.

خۇلاسە

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز سۈزگۈچ دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ گازغا كاپالەتلىك قىلىش ، ۋافېر سۈپىتىنى قوغداش ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئەلالاشتۇرۇشتا ئىنتايىن مۇھىم.

ئۇلارنىڭ رولى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىنى ئىلگىرى سۈرۈش ۋە كەسكىن كەسىپ ئۆلچىمىگە يېتىشتە ئىنتايىن مۇھىم.

مەخسۇس ھەل قىلىش چارىسى ئۈچۈن ، مۇتەخەسسىسلەردىن مەسلىھەت سوراپ ، ئېھتىياجىڭىزغا ماس كېلىدىغان سۈزگۈچلەرنى تاللاڭ ۋە مەشغۇلاتلىرىڭىزدا ئەڭ يۇقىرى ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىڭ.