يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسى ئۈچۈن يۇقىرى ئۈنۈملۈك IGS يۈزەكى ئورنىتىش C پېچەتلەش فىلتىرلىرى
چۈشەندۈرۈش
HENGKO يۈزەكى ئورنىتىش فىلتىرلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ OEM قوراللىرىدا ئىشلىتىلىدىغان بىر گەۋدىلەشكەن گاز سىستېمىسىنىڭ قاتتىق تەلىپىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. بۇ فىلتىرلار 0.003 µm لىق سانائەتتە ئالدىنقى قاتاردا تۇرىدىغان فىلتىرلاش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ، 120 slpm دا ≥99.9999999% (9-LRV) زەررىچە تۇتۇش ئۈنۈمى بىلەن ئالاھىدە ئىقتىدار ۋە ئىشەنچلىكلىكنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
بۇ سۈزگۈچ ئېلېمېنتى ۋە قېپى ئۈچۈن پىششىقلاپ ئىشلەنگەن چىداملىق 316L داتلاشماس پولات پاراشوكىدىن ياسالغان بولۇپ، SEMI F86-0304 ئۆلچىمىگە ماس كېلىدۇ، ئىككى ئېغىزلىق زاپچاسلار 1.125 دىيۇملۇق گاز تەقسىملەش سىستېمىسىغا ماسلاشتۇرۇلغان بولۇپ، C شەكىللىك پېچەتلەش قۇرۇلمىسىغا ئىگە. ئۇلار 100 سېلسىيە گرادۇستا ئەڭ يۇقىرى كىرىش بېسىمى 3.4 MPa، 100 سېلسىيە گرادۇستا ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش بېسىمى پەرقى 0.69 MPa نى قوللايدۇ.
بۇ ئالاھىدە سۈزگۈچلەر C تىپلىق ۋە W تىپلىق پېچەتلەش ئۆلچىمىگە ماس كېلىدۇ، زەررىچىلەرنى قويۇپ بېرىش ئارقىلىق تۆۋەنكى قاتلامدىكى پاكىزلىقنى تەمىنلەيدۇ.
Ra يۈزى بىلەن قاپلانغانسىرتقى قىسمىدا < 1.6 µm ۋە Raئىچكى قىسمى < 0.13 µm بولۇپ، ئۇلار 460 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ. ئاسان بىرلەشتۈرۈش ۋە مودۇللۇق لايىھەنى يېڭىلاش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بۇ سۈزگۈچلەر ئورنىتىش ۋە ئاسراشنى ئاددىيلاشتۇرۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز يەتكۈزۈش ۋە كونترول قىلىش قوللىنىشچان پروگراممىلىرىدا سىستېما ئىقتىدارىنى ئەلالاشتۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ.
مەھسۇلات ئالاھىدىلىكى
▶ ئومۇمىي قۇرۇلمىسى 316L داتلاشماس پولات
▶ كىچىك لايىھە، ئىخچام قۇرۇلما، بوشلۇقنى تېجەيدۇ
▶ گاز ئالماشتۇرۇش ۋە سۈمۈرۈش خۇسۇسىيىتى ناھايىتى ياخشى
▶ يۇقىرى تېمپېراتۇرا، يۇقىرى بېسىم ۋە چىرىشكە چىداملىق
▶ ئېلېكترو-سىلىقلانغان 316L داتلاشماس پولات قاپ
▶ ئاسان ۋە ئۈنۈملۈك ئورنىتىش ۋە ئاسراش
▶ مېخانىكىلىق پېچەتلەش، قۇرۇلما جەھەتتىن ئورالمىغا پەيۋەندلەنمىگەن
سانلىق مەلۇمات جەدۋىلى
| تېخنىكىلىق پارامېتىرلار | قىممەتلەر |
|---|---|
| سۈزگۈچ ئېلېمېنت ماتېرىيالى | 316L داتلاشماس پولاتتىن ياسالغان پاراشوك |
| تۇرالغۇ ماتېرىياللىرى | 316L داتلاشماس پولات |
| ئەڭ چوڭ كىرىش بېسىمى | 100°C دا 3.4 MPa |
| ئەڭ چوڭ مەشغۇلات پەرقى | 100 سېلسىيە گرادۇستا 0.69 MPa |
| گېلىي تەكشۈرۈش ئېقىش نىسبىتى | 1x10⁻¹¹ cc/مىنۇت |
| گېلىي سىنىقىنىڭ ئېقىش نىسبىتى | 1x10⁻⁹ cc/مىنۇت |
| يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىش | سىرتقى يۈز Ra< 1.6 μm |
| ئىچكى يۈزە Ra< 0.13 μm | |
| ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى | 460 سېلسىيە گرادۇس |
| زەررىچە تۇتۇش ئۈنۈمى | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (پايدىلىنىش MPPS، بارلىق زەررىچىلەر) |
| تۆۋەنكى ئېقىننىڭ پاكىزلىقى | زەررىچە قويۇپ بېرىش:< 0.03 زەررىچە/لېتىر (< 1 زەررىچە/ft³) |
| ئۆزگىرىپ تۇرىدىغان ماددىلار:< 10 ppb نەملىك | |
| زەررىچە تۇتۇش چوڭلۇقى | ≥0.003 μm |
| ئېقىن دائىرىسى | 0 ~ 120 slpm |
چوڭلۇقى
بۇ يەردە سىز زاكاز قىلالايدىغان زاپچاس نومۇرى ۋە چوڭلۇقى توغرىسىدىكى تەپسىلاتلار بار:
| مەھسۇلات مودېلى | ئېقىم سۈرئىتى | ئېگىزلىكى H (mm) | سۈزۈش ئېنىقلىقى | تازىلاش دەرىجىسى |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | مىنۇتىغا 10 قېتىم | 51.6 | 0.003 مىكرومېتىر | C |
| Z01B-00638 | 40 مىنۇتلۇق slpm | 82.9 | 0.003 مىكرومېتىر | C |
| Z01B-00687 | 80 مىنۇتلۇق slpm | 126.2 | 0.003 مىكرومېتىر | C |
| Z01B-00688 | مىنۇتىغا 120 قېتىم | 167.9 | 0.003 مىكرومېتىر | C |
ئادەتتىكى قوللىنىشلار
W-مۆھۈر ۋە C-مۆھۈر، 1.125 دىيۇم ۋە 1.5 دىيۇم يۈزەكى ئورنىتىشقا بولىدىغان مودۇللۇق گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسى بىلەن بىللە ئىشلىتىلىدۇ.
ئۇچۇرىڭىزنى بىزگە ئەۋەتىڭ:
